TALYS ADP300
シリーズ

低コストで高精度な
ウェットバス監視分析計

 

デュアルチャンネル分析システム「TALYS ADP300シリーズ」は、ウェットエッチング、クリーニング、またはフォトレジスト(PR)除去プロセスのリアルタイム、バッチ式、またはシングルウエハツールの監視に最適な、最先端の薬液濃度監視用分析計です。

概要

製品概要

TALYS ADP300シリーズは、既存のTALYS ASP300流路分析計の後継機種です。改善されたキー操作機能と最大2流路の同時測定を実現します。その独自の技術は、2つの異なるケミカルバス内の複数の成分を同時に監視することを可能にします。これによって、信頼性の高い濃度管理を可能にし、個々の薬品投入量の最適化によってケミカルバス長寿命化に貢献します。

 

特長

1)2つの異なるサンプルポイントを1台の分析計で監視可能

1台の分析計で2箇所のオンライン濃度監視が可能なため、初期コストおよびフットプリントの大幅な削減に貢献することができます。SC1、SC2、BOE、BHF、DHFおよびST-250の輸送ラインを、1つの装置で、手動操作を必要とせず、PC上のツールで制御、監視することが可能な唯一の分析計です


循環槽のモニタリング

 

2)ABB特許技術であるClippIRを使用した、非接触かつ遠隔での薬液濃度測定の実現

ABBの分析計のサンプルインタフェースは、接液部を持たない独特のセルです。取り付けが非常に容易であることが特徴です。既存設備中の1"、 3/4"、 1/2"、 3/8" PFAチューブにクリップを取り付けるだけで測定が可能です。

ClippIRは、TeflonTMによって構成され、TeflonTM保護光ファイバーケーブルを介してTALYSへと接続されます。分析計は薬液に接触しないため、薬液槽を汚染することはありません。

ClippIRは、生産ラインを停止させることなく、既設のチューブ上に取り付けて使用することが可能です。 キャップを外してチューブを溝に入れ、キャップを所定の位置にねじ込むだけで、取り付けが可能です。

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1. 標準パッケージ品

• TALYS×1式
• 5メートル 光ケーブル×2式
• SC1、SC2、BOE、BHF、DHF、ST-250の設定
• ClippIRサンプルプローブ×2式
• PCツールへのModBus TCP(Ethernet)通信機能
• タッチスクリーンディスプレイ

※オプション

• 追加で必要な長さの光ケーブル
• 追加の薬液槽監視向け設定ファイル

2.  仕様

• 外形寸法(高さ×幅×奥行き): 369 × 350 × 255.5 mm
• 重量: 20 kg(標準的な分析計筐体のみ)
• 1kg(ClippIRにつき、および
• 1光ファイバーケーブルの組み合わせ)
• 通信: ModBus TCP
• 設置方法: 壁または棚への取り付け
• 電源仕様: <100 W(通常運転時)
• 環境: 15 ~ 35℃
•一般使用可能区域(非防爆)

3. 認証

• CTÜVUS, CE, FCC, laser safety FDA/IEC/EN
60825-1, RoHS 3, China RoHS, WEEE

関連情報

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