Die Halbleiterindustrie weist einige der anspruchsvollsten Motion-Control-Applikationen auf. Die hohen Ansprüche an Genauigkeit und Präzision in den einzelnen Prozessen erfordern eine sichere Stromversorgung.
Halbleitersegmente können in zwei aufeinanderfolgende Teilprozesse unterteilt werden, allgemein als Front-End- und Back-End-Produktion bezeichnet. Beide bestehen aus einer Vielzahl von Schritten. Der gesamte Prozess, die Front-End- und Back-End-Produktion, ist komplex und erfordert eine ausgefeilte Technik zum Schutz der sehr empfindlichen Abläufe.
Nachfolgend werden die typischen Segmente beschrieben, die die Front-End- und Back-End-Prozesse umfassen. Außerdem wird erläutert, wie mithilfe von Power Protection eine kontinuierliche, störungsfreie Spannungsversorgung sichergestellt werden kann.