Absicherung gesamter Halbleiterwerke

Allgemeiner Aufbau von Halbleiterfabriken

Mit den Power-Protection-Lösungen von ABB können Sie Ihre Produktion gegen Spannungseinbrüche und Stromausfälle absichern. Von Unterstationen bis zu den empfindlichen Werkzeugen und Maschinen bietet die Nieder- und Mittelspannungstechnik von ABB zuverlässige und effiziente Lösungen, die Produktionsunterrechungen durch Spannungsstörungen verhindern und die Produktivität steigern.

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Power-Protection Lösungen für die Halbleiterindustrie

Aktiver Spannungsregler PCS100 AVC

Industrie-USV PCS100 UPS-I

Mittelspannungs-USV PCS120 MV UPS

Service

Effektiver Schutz bei Spannungseinbrüchen

Halbleiterprozesse sind extrem empfindlich und von einer stabilen und gut geregelten elektrischen Stromversorgung für Maschinen und Anlagen abhängig. Das häufigste und kostspieligste Problem der Spannungsqualität sind Spannungseinbrüche. Der PCS100 AVC wurde speziell zur Korrektur von Spannungseinbrüchen entwickelt. Er enthält keine Energiespeicher, sondern entnimmt zusätzlichen Strom aus dem Netz. Da keine Batterien benötigt werden und die elektrischen Verluste sehr gering sind, hat er sehr niedrige Betriebskosten. Durch die geringe Stellfläche eignet sich der PCS100 AVC ebenfalls für die nachträgliche Installation in Anlagen, in denen die verfügbare Fläche begrenzt ist.

Typische Lasten & Anwendungen

High-End-Technologien mit hohen Anforderungen an die Spannungsversorgung
Prozesskühlwasser-Systeme
Plasmageneratoren
Fotolithographieanlagen
Ionenimplantationsanlagen und Ätzwerkzeuge
Wafer-Testanlagen
Stanzmaschinen

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Produktseite PCS100 AVC
Video PCS100 AVC [EN]
Broschüre PCS100 AVC

Effizienter Schutz bei tiefen Spannungseinbrüchen und Spannungsausfällen

Die PCS100 UPS-I ist eine ideale Ergänzung zum PCS100 AVC-Spannungswandler. Im Gegensatz zum PCS100 AVC verfügt die PCS100 UPS-I über Energiespeicher (VRLA Batterien, Li-Ion Batterien, Superkondensatoren). Diese liefern die Energie, um ebenfalls sehr tiefe Spannungseinbrüche und kurze Stromausfälle zu überwinden. Im Vergleich zu herkömmlichen USV-Anlagen hat die PCS100 UPS-I mit einem Wirkungsgrad von 99 Prozent sehr geringe Verluste und eine kleine Grundfläche. Sie ist in einem breiten Leistungsbereich bis zu mehreren MW verfügbar. Dadurch eignet sie sich für den direkten Schutz von Halbleiterproduktionsanlagen.

Typische Lasten & Anwendungen

High-End-Technologien mit hohen Anforderungen an die Spannungsversorgung
Gasphasenabscheidung
Gasversorgung
Fotolithographieanlagen
Ionenimplantationsanlagen und Ätzwerkzeuge
Wafer-Testanlagen
Stanzmaschinen

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Produktseite PCS100 UPS-I
Video PCS100 UPS-I
Broschüre PCS100 UPS-I

Vollständige Absicherung auf Mittelspannungsebene

Der Platz für USV-Anlagen und Spannungsregler ist in Halbleiterwerken oft sehr begrenzt. Die PCS120 MV UPS bietet höchste Performance bei klassenbester Effizienz. Sie ist eine ideale Lösung zur zentralen Absicherung gesamter Werke. Mit einem Wirkungsgrad von 98 Prozent, einer kleinen Stellfläche und sehr niedrigen Betriebskosten schützt die PCS120 MV UPS vor tiefen Spannungseinbrüchen und Spannungsausfällen. Zusätzlich wird die Spannung durch die MV UPS dauerhaft aufbereitet.

Typische Lasten & Anwendungen

High-End-Technologien mit hohen Anforderungen an die Spannungsversorgung
Gasphasenabscheidung
Gasversorgung
Fotolithographieanlagen
Ionenimplantationsanlagen und Ätzwerkzeuge
Wafer-Testanlagen
Stanzmaschinen

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Produktseite PCS120 MV UPS
Broschüre PCS120 MV UPS

Service für ABB USV und Power Conditioning

Das Angebot von ABB an Wartungsleistungen ist auf eine Steigerung der Anlagenrendite der Kunden und den Erhalt der Betriebsfähigkeit der Einrichtung bei maximaler Effizienz und Produktivität während der gesamten Nutzungsdauer ausgerichtet.

Als Servicepartner stellen wir den umfassenden Support für unsere Produkte über die gesamte Nutzungsdauer sicher. Die Zuverlässigkeit Ihrer Anlagen ist unser Ziel. Deshalb unternehmen wir alles, um eine zuverlässige Stromversorgung sicherzustellen - unabhängig von netzseitigen Ereignissen.

Wir arbeiten eng mit unserer Forschungs- und Entwicklungsabteilung zusammen, die mit uns das Service-Angebot für unsere Produkte weiterentwickelt und ein proaktives Lifecycle-Management sicherstellt.

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